Способ определения толщины пленок,напыляемых в вакууме Советский патент 1985 года по МПК G01B11/06 

11 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения толщины слоя вещества, получаемого методом вакуумного напыления. , Цель изобретения - расширение диапазона измеряемых толщин. На чертеже изображено устройство, реализующее предлагаемый способ. Устройство содержит рабочую подложку 1, свидетель 2, испаритель 3, лазер 4 и фотоприемный блок 5. Свидетель 2 установлен .под углом к направлению движения частиц напыляемого вещества. Лазер 4 и фотоприемньй блок 5 расположены по разные сто роны свидетеля 2, жестко соединены между собой и установлены с возможностью перемещения параллельно повер ности свидетеля в направлении х, соответствующем проекции прямой, соединяющей центры испарителя и свидетеля, на поверхность последнего. Способ осуществляют следующим образом. Производят одновременное напыление слоя вещества на рабочую подлож(ку 1 и свидетель 2. За счет наклона свидетеля 2 к направлению движения частиц напыляемого вещества слой ве6щества, напыленного на свидетель, приобретает градиент толщины в направлении X. Закон распределения толщины слоя по поверхности свидетеля и ее отнощение к толщине слоя на рабочей подложке 1 однозначно определяются геометрическими параметрами схемы и. быть рассчитаны заранее. Также заранее известна и зависимость-коэффициента пропускания свидетеля 2 от толщины напыленного на нем слоя. Лазер 4 совместно с фотоприемным блоком 5 перемещают в направлении х до достижения рассчитанного значения потока излучения, прошедшего свидетель 2, и определяют положение пучка лазера на свидетеле 2, по которому на основе известных зависимостей судят о толщине слоя на рабочей подложке. Расширение диапазона контролируемых толщинобеспечивается за счет возможности в широком диапазоне регулировать наклон и удаление свидетеля от испарителя, чем достигается изменение соотношения толщин слоев , капыпенных на свидетеле и рабочей подложке, и перепад толщины слоя на свидетеле.

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК, НАПЫЛЯЕМЫХ В ВАКУУМЕ, заключающийся в том, что одновременно производят напыление пленки на рабочую подложку и свидетель, пропускают через свидетель излучение, регистрируют поток излучения, прошедшего свидетель, и определяют толщину пленки на рабочей подложке, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых толщин в процессе напьшения создают продольньш градиент толщины слоя, наносимого на свидетель, сканируют пучком излучения по поверхности свидетеля в направлении градиента толщины слоя и определяют толщину пленки, нанесенной на рабочую подложку, S по положению сканирующего пучка на поверхности свидетеля, соответствуСП ющему расчетному значению потока излучения, прошедшего свидетель.