Способ ультразвуковой размерной обработки Советский патент 1986 года по МПК B24B1/04 

ISD ч

41

со fl Изобретение относится к области ультразвуковой размерной обработки хрупких материалов, преимущественно к прошивке отверстий в подложках мик росборок . Целью изобретения является уменьшение степени повреждения поверхности и снижение расхода абразива. На чертеже представлен вариант реализации способа ультразвуковой размерной обработки материалов. Изделие 1, в котором необходимо прошить отверстие, посредством приклейки (или примораживания) закрепляется на стеклянной подложке 2. Под ложка при помощи фиксирующего приспособления крепится на металлической плите 3, в полости которой имеют ся каналы 4, по которым циркулирует охлаждающая жидкость (например, фреон) . На подложку 2 устанавливают ограничительное кольцо 5, в которое заливают воду, превращающуюся в лед 6. С помощью трафарета в зону обработки насыпают абразив 7. Способ осуществляется следующим образом. На подложку 2 намбраживают слой льда 6, в который в зоне обработки вмораживают абразив 7. Обработку про изводят ультразвуковым концентратом192инструментом 8. Абразив, намороженный в зоне обработки при тепловом воздействии ультразвукового инструмента переходит в свободное состояние, при этом под торцом ультразвукового ин|струмента образуется локальная ванна с абразивной суспензией. Под действием колеблюп;егося торца инструмента абразивные частицы выкаливают микрочастицы материала.Удаление защитного слоя осуществляется посредством нагрева подложки. Формула изобретения 1.Способ ультразвуковой размерной обработки, заключающийся в воздействии инструмента, совершающего ультразвуковые колебания, на поверхность изделия через абразивную суспензию, отличающийся тем, что, с целью уменьшения степени повреждения поверхности и снижения расхода абразива, поверхность изделия покрывают слоем льда, а абразивные частицы вводят в него локально в зонлх резания в процессе намораживания . 2.Способ поп.15отличающ и и с я тем, что крепление изделия осуществляют примораживанием.

Изобретение позволяет уменьшить степень повреждения поверхности изделия вне зоны резания и снизить расход абразива. Изделие 1, приклеенное (примороженное) к подложке 2, крепится к холодной металлической плите 3. Изделие защищают слоем льда 6, а в зоне ре-зания вмораживают абразив 7. Под воздействием ультразвукового инструмента лед плавится, абразив 7 переходит в свободное состояние только в зоне воздействия инструмента В,причем именно в этой области происходит резание. 1 ил.