Устройство для ультразвуковой размерной обработки Советский патент 1990 года по МПК B06B3/00 

Изобретение относится к ультразвуковой размерной обработке хрупких материалов, преимущественно к обработке отверстий в керамических и полупроводниковых подложках.

Цель изобретения - повышение качества обработки путем снижения сколов на входе отверстия.

На чертеже схематически показано устройство.

Устройство содержит ультразвуковой концентратор-инструмент 1, накладку 2 и деталь 3. Накладку 2 выполняют из материала меньшей твердости и крепят ее на торце концентратора-инструмента I. Накладка имеет поперечные размеры торца и может представлять собой металлическую или полимерную пластину. Толщина накладки составляет 0, размера абразивных зерен абразивосодержащей суспензии 4.

Устройство работает следующим образом.

В зону обработки поверхности подают абразивосодержащую суспензию 4. Концентратор-инструмент 1 с накладкой 2 прижимают к обрабатываемой поверхности детали 3 и сообщают ему ультразвуковые колебания. Выполнение накладки 2 из материала

с меньшей, чем материал ннст р мгч га. твердостью позволяет сдемпфнпова. удары колеблющегося торца концентратор., -ичстру ментя 1. В связи с этим уменыпа гея воздействие абразивных зерен ч; nuit охншть детали 3. что позволяет снизить ьс-дичинх сколов на входе опч рстич.

По мере углубления и деталь 3 .ходит эрозионный износ накладки 2 вплоть до полного удаления ее. Оставшаяся часть отверстия обрабатывается с наибольшей производительностью.

Формула изобретения

Устройство для ультразвуковой размер ной обработки, содержащее концентратор инструмент с накладкой на торце, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки путем снижения сколов на входе отверстия, накладка выполнена по размеру торца концентратора-инструмента из материала с твердостью, меньшей твердости инструмента, при этом толщина / накладки выбирается из соотношения h (0,5-0,8)0, где а - средний размер зерен используемого свободного абразив,.

СП СП

СО

со

СЛ

Изобретение относится к ультразвуковой размерной обработке, при которой на деталь устанавливают накладку. С целью повышения качества обработки накладку, выполненную из материала меньшей, чем материал торца инструмента твердости, и по размеру торца инструмента, крепят на нем, а затем полностью разрушают при врезании в деталь. 1 ил.