Доводочный станок Советский патент 1986 года по МПК B24B37/04 

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для доводки и полирования по лупроводниковых монокристаллических пластин большого диаметра. Целью изобретения является повышение качества обработки за счет по давления вибраций в силовой цепи станок - инструмент - абразивная прослойка - заготовка, что ведет к увеличению процента выхода годных деталей. На сЪиг.1 схематично изображен ст нок для двусторонней доводки; на фиг. 2 - то же, для односторонней д водки. На поворотной консоли 1 станка смонтирована пиноль 2 с планшайбой на которой закреплено успокоительное устройство, выполненное в виде обоймы 4 с плоскими пружинами 5 и демпфера. В случае двусторонней обработки используется масляный демпфер, состоящий из плунжера 6 и штока 7, свя занного с верхним рабочим диском 8 установленным на обрабатываемых; деталях 9, размещенных в сепараторе на нижнем диске 10. В случае односторонней доводки и пользуется кольцевой гистерезисЙый демпфер, имеющий ступенчатый штокшпильку 11, связанный с планом 12 д крепления деталей, и гайку 13 предварительного натяга, Обойма 4 успокоителя с плоскими пружинами 5 закреплена на планшайбе 3, при этом плоские пружины 5 контактируют со штоком 7 плунжера 6 м ляного демпфера или со ступенчатым штоком-шпилькой 11 кольцевого демпф ра. Штоки демпферов служат валами для привода верхнего диска 8 или плана 12. Станок работает следукмцим образом. Обрабатываемые детали 9 устанав ,ливаются в сепараторе на нижний диск 10 станка или наклеиваютсяна план 12 в случае односторонней обработки. После этого при двусторонней доводке опускается верхний дис 8 и к нему прикладывается рабочая нагрузка от пиноли 2 станка, в случае односторонней обработки доводка осуществляется либо под собственным весом деталей 9 и плана 12, либо на гатан 12 может устанавливаться дополнительный груз, Далее в рабочую зону подается абразивная суспензия, а дискам 8 и 10, сепаратору и плану 12 с деталями сообщаются от привода станка вра1цательные движения вокруг собственных осей. В процессе обработки из-за износа рабочей поверхности дисков в силовой цепи станка возникает кинематическое возбуждение, которое гасит успокоитель в результате поглощения им энергии кинематического возбуждения. Эффективность успокоителя зависит от коэф М1щента жесткости К плоской пружинь и коэффициента демпфирования С(. демпфера успокоителя, которые выбраны такими, что максимальная отрицательная действительная часть первой резонансной петли комплексной частотной характеристики композиционной динамической системы станка равна максимальной отрицательной действительной части второй резонансной петли, обусловленной резонансом успокоителя.. Успокоитель с параметрами К и С удовлетворяющий указанному условиьэ, обеспечивает устойчивость тех-нологической системы доводочный станок - процесс абразивного изнашивания в достаточно ш фоком диапазоне частот (5 - 500 Гц). Любое кинематическое возбуждение, возникающее в силовой цепи с частотой из указанного частотного диапазона, подавляется за счет того, что вся энергия кинематического возбуждения поглощается успокоителем, если указанное требование к параметрам К и С успокоителя выполнены. В.противном случае не вся энергия кинематического возбуждения поглощается успокоителем, а следовательно, на некоторых частотах из частотного диапазона 5-500 Гц имеет место кинематическое возбуждение, которое может привести, например, к снижению качества обработки или поломке заготовки.

7

2

/ /

/ / // / / / / / / / / /// / / / /

/

1.ДОВОДОЧНЫЙ СТАНОК, содержапщй станину, нижний диск, планшайбу с верхним элементом и успокоительное устройство, встроенное в силовую цепь станка, отличающийс я тем, что, с целью повышения качества доводки, успокоительное устройство расположено между планшайбой и верхним элементом и выполнено в виде обоймы с системой плоских пружин и демпфера, при этом обойма закреппена на планшайбе, а плоские пружины установлены с возможностью контакта со смонтированным в обойме штоком демпфера, связанным с верхним элементом. 2.Станок по п.1, отличающийся тем, что демпфер выполнен кольцевым гистерезйсным. 3.Станок по п.1, отличающий с я тем, что верхний Элемент i вьшолнен в виде рабочего диска. 4.Станок по п.3, отличаюСЛ щий с я тем, что демпфер выполнен масляным. С 4