Электростатический схват манипулятора Советский патент 1988 года по МПК B25J15/00 

H:uiOprTctiHc 11 CHcu.HT ГЯ к чпек1ро- г; 1-ятнческим зажимным устройствам и м(1жет Г)ыть npHMefreno в технологических процессах микроэлектроники и ару гих .областях техники,

Целью изобретения является обеспечение надежности работы схвата за счет упрощения конструкции привода мембраны.

На чертеже изображен предлагаемый схват, обагий вид.

Схват содержит корпус 1, на котором установлена рабочая головка 2 с электродом. 3j выполненным в виде кольца, установленного на торце рабочей головки 2, электродом 4, выпол - ненным в виде мембраны из полупроводящего материала, и двумя дополнительными электродами 5 и 6, один из которых (электрод 5) выполнен из эластичного материа:па и через электроизоляционную эластичную прокладку 7 установлен на поверхности электрода 4, Между дополнительными элек- тродами 5 и 6 в рабочей головке 2 образована полость 8, заполненная электрореологической жидкостью. Все электроды установле1нВ1 в головке 2 соосио и связаны с источником 9 высо кого напряжения,

р

Схват работа€ Т следующим образом

Для захвата и закрепления детали на электроды 3 и 4 подается постоя ное высокое напряжение от источника

9. Электрод 3 головки 2 наклалывает- ся на захватываемую деталь 10 с одновременной подачей напряжения на дополнительные электроды 5 и 6.

При этом полость 8, заполненная электрореологической жидкостью, под воздействием электрического поля увеличивается, в результате чего электрод 4, выполненный в виде мембраны прогибается в сторону захватываемой детали 0,

Степень прогиба мембраны в сторону захватываемой детали зависит от состава суспензии, а также величины воздействующего на нее электрического поля, что дает возможность плавного и точного регулирования прижатия эластичной мембраны к детали.

При прикосновении электрода 4 к захватываемой детали: 10 возникает взаимодействие закрепляемого объекта с неоднородным электростатическим полем, создаваемым электродами 3 и 4, и деталь закрепляется.

После закрепления детали производят необходимые перемещения и операции. После снятия напряжения с электродов мембрана вьшрямляется, отделяясь от детали, тем самым освобождая последнюю от схвата.

Путем коммутации, осуществляемой известными методами, можно при необходимости варьировать одновременную пс «еременную .подачу напряжения на электрода и его отключение.