Манипулятор для герметизированного пространства Советский патент 1991 года по МПК B25J21/00 B25J15/04 

Описание патента на изобретение SU1618651A1

Изобретение относится к робото- технике и касается устройств транспортных манипуляторов, предназначенных для захвата и перемещения 5 пластин больших и сверхбольших интегральных схем в вакууме или иной контролируемой технологической среде .

Цель изобретения - повышение на- 10 дежности и КПД манипулятора за счет исключения пар трения в герметизированном пространстве при одновременном устранении аварийных ситуаций за счет исключения разжатия зажимно- 15 го устройства при отключении энергопитания .

На фиг.1 представлен манипулятор, общий вид; на фиг.2 - механизм перемещения захватного устройства; на 20 фиг.З - разрез А-А на фиг.2.

Манипулятор выполне н в виде закрепленных на основании 1 неподвижной и подвижной телескопических трубок 2 и 3, взаимно подпружиненных в акси- 25 альном направлении и герметизированных относительно окружающего их техологического пространства посредством пружин 4 и сильфона 5.

Нижний (по чертежу) конец внутрен- }0 ней подвижной телескопической трубки 3 имеет утолщение, в котором выполнен цилиндрический паз 6 кольцевого сечения, внешний диаметр которого больше внешнего диаметра неподвижной 35 телескопической трубки 2.

. На внешней стороне утолщения труб ки 3 закреплены плоские упругие губ- ки 7, на свободных концах которых имеются захватные губки 8, причем эти 40 упругие элементы связаны гибким элементом 9... например плоской пружиной i или струной, с которым взаимодействует кулачок 10, укрепленный на пальце 1, соосно установленном внутри под- 45 вижной телескопической трубки 3, аксиально подпружиненным относительно нее и герметично-подвижно соединенным с нею посредством пружины 12 и сильфона 13.50

Палец 11 посредством стержня (или струны) 14 механически связан с якорем 15 управляющего электромагнита 16, укрепленного на противоположном (верхнем по чертежу) конце подвижной - телескопической трубки 3.

Верхний конец подвижной трубки 3 с укрепленным на нем электромагнитом 16 взаимодействует посредством гибкой связи 17, выполненной, например, в виде двух тросиков или струн, закрепленных концами на корпусе электромагнита 16 и на двух идентичных рабочих шкивах 18 с реверсивным электродвигателем 19, причем шкивы 18 укреплены вместе с червячным зубчатым колесом редуктора 20 на общей оси. Электродвигатель 19 соосно установлен на корпусе 21, закрепленном на основании 1 о

В исходном положении манипулятора управляющий электромагнит 16 выключен, захватные губки 8 приближены одна к другой под действием пружины 12 и кулачка 10 на гибкий элемент 9, при этом верхняя часть подвижной телескопической трубки 3 вместе с укреплена ным на ней управляющим электромагни - том 16 находится в крайнем верхнем (на фиг.1 показано пунктиром) положении .

Для захвата и перемещения транспортируемого объекта (например, плавающего захвата с укрепленной в нем полупроводниковой пластиной) включается управляющий электромагнит 16, в результате чего захватные губки 8 расходятся, а включаемый затем реверсивный электродвигатель 19 посредством червячного редуктора 20, гибкой связи 17 и пружины 4 переводит подвижную телескопическую трубку 3 в противоположное исходному крайнее нижнее положение, после чего уп равляющий электромагнит 16 выключается, в результате этого захватные губки 8 зажимают сферический элемент хвостовика плавающего захвата, далее реверсивный двигатель 19 вновь включается, но в обратном направлении, благодаря чему подвижная телескопическая трубка 3 возвращается в исходное положение, перенося таким образом транспортируемый объект (плавающий захват) в новое положение.

В новом положении плавающий захват остается до тех пор, пока к нему не приблизится и не захватит его с помощью двух других (свободных) сферических элементов, имеющихся на его хвостовике, соседний аналогичныйманипулятор, работающий в плоскости, ортогональной той, в которой работает манипулятор, после чего управляющий электромагнит 16 вновь включается, освобождая транспортируемый объект для дальнейшего переме5Ifi

щения соседним манипулятором. После удаления транспортируемого объекта электромагнит 16 выключается.

Обратная транспортировка производится аналогичным образом.

Полное исключение пар трения в герметизированной рабочей камере повышает надежность работы и ресурс механизмов захвата и перемещения транспортируемых технологических объектов и улучшает спектр остаточных в герметизированном технологическом пространстве.

Гарантированное удерживание транспортируемого объекта при аварийном выключении или снижении величины напряжения электропитания внешнего привода надежно защищает транспортируемый технологический объект от механических повреждений, что важно для хрупких, взрывоопасных и другого рода технологических объектов.

Отсутствие необходимости энерго носителя в виде текучей среды под давлением повышает надежность и упрощает конструкцию манипулятора в целом.

i .Формула изобретения

1. Манипулятор для герметизированного пространства,содержащий основание с приводом, шарнирно связанную с основанием механическую руку, имеющую захватное устройство и герметизирующие сильфонные элементы, а также механизм перемещения захватного устройства, кинематически связанный с приводом, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и КПД за счет исключения пар трения в герметизированном пространстве при одновременном устранении

186516

аварийных ситуаций за счет исключения разжатия зажимного устройства при отключении энергопитания, он снабжен управляющим электромагнитом, а механическая рука выполнена в виде двух подпружиненных одна относительно другой телескопических трубок, одна из которых жестко связана с основа

нием, а другая, установлена подвижно внутри первой телескопической трубки, при этом управляющий электромагнит установлен соосно с внутренней трубкой и жестко связан с одним ее

торцом, а на другом торце этой трубки выполнено утолщение с цилиндрическим кольцевым пазом, толщина которого больше толщины первой телескопической трубки, причем захватное устройство выполнено в виде двух плоских упругих губок, жестко связанных с утолщением внутренней телескопической трубки, пальца, установленного под--: вижно во внутренней телескопической

трубке и подпружиненного относительно нее, тяги, кинематически связанной с якорем управляющего электромагнита и с пальцемj а также в виде упругого элемента, кинематически связанного с пальцем, причем торцы этого упругого элемента жестко соединены с губками захватного устройства,а корпус управляющего электромагнита кинемати- чески связан с механизмом перемещения захватного устройства.

2. Манипулятор по п.1, о т л и - чающийся тем, что упругий элемент выполнен в виде плоской пру жины, а кинематическая связь корпуса управляющего электромагнита с механизмом перемещения захватного устройства выполнена в виде гибкой нерастяжимой тяги.

21

Похожие патенты SU1618651A1

название год авторы номер документа
ГИДРОЦИЛИНДР ДВОЙНОГО ДЕЙСТВИЯ 1991
  • Попов Юрий Васильевич[Ua]
RU2022732C1
СХВАТ МАНИПУЛЯТОРА 2008
  • Кулебякин Алексей Александрович
RU2381892C1
СХВАТ МАНИПУЛЯТОРА 1990
  • Филаретов В.Ф.
  • Юрчик Ф.Д.
  • Золотарев С.П.
RU2105665C1
МЕХАНИЧЕСКИЙ СХВАТ 2003
  • Лемешко М.А.
  • Серебро С.В.
  • Кочуев Ю.Ю.
  • Сальник С.В.
RU2257996C1
Схват промышленного робота 1986
  • Смагин Николай Павлович
  • Хохлов Николай Алексеевич
  • Резник Михаил Михайлович
SU1308464A1
ЗАХВАТ МАНИПУЛЯТОРА 1992
  • Ивашов Евгений Николаевич
  • Оринчев Сергей Михайлович
  • Степанчиков Сергей Валентинович
RU2043919C1
Электромагнитное захватное устройство 1990
  • Любчик Михаил Абрамович
SU1811481A3
Исполнительный орган манипулятора 1989
  • Уваров Андрей Анатольевич
  • Кудрявцев Лев Александрович
  • Косов Михаил Георгиевич
  • Митрофанов Владимир Георгиевич
  • Феофанов Александр Николаевич
SU1722813A1
Захватное устройство для промышленного робота-манипулятора 1983
  • Белопольский Борис Ефимович
  • Ордановский Владимир Николаевич
  • Линко Михаил Семенович
  • Годун Евгений Степанович
  • Спицын Александр Васильевич
  • Комаров Юрий Константинович
  • Ерош Игорь Львович
  • Вайсберг Дмитрий Николаевич
SU1126432A1
Головка манипулятора 1983
  • Давыгора Вадим Николаевич
  • Фролов Владимир Константинович
SU1085807A1

Иллюстрации к изобретению SU 1 618 651 A1

Реферат патента 1991 года Манипулятор для герметизированного пространства

Изобретение касается робототехники, в частности устройств транспортных манипуляторов, предназначенных для захвата и перемещения пластин больших и сверхбольших интегральных схем в вакууме или иной контролируемой технологической среде. Целью изобретения является повышение надежности КПД манипулятора за счет исключения пар трения в герметизированном пространстве при одновременном устранении аварийных ситуаций за счет исключения разжатия зажимного устройства при отключении энергопитания. При вращении шкивов 18 от электродвигателя 19 происходит подъем управляющего электромагнита 16 вместе с внутренней телескопической трубкой 3. Вместе с ней поднимаются плоские упругие губки 7 захватного устройства. Обратный ход осуществляется под действием пружины 4. При включении электромагнита 16 происходит подъем вверх пальца 11. При этом гибкий элемент 9 распрямляется и разжимает губки 7 захватного устройства. Обратный ход губок обеспечивается за счет пружины 12. 1 з.п.ф-лы, 3 ил. Фиг.1

Формула изобретения SU 1 618 651 A1

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1991 года SU1618651A1

Захватный комплекс 1987
  • Руднев Евгений Васильевич
SU1581576A1
i

SU 1 618 651 A1

Авторы

Руднев Евгений Васильевич

Даты

1991-01-07Публикация

1988-09-06Подача