Устройство для выращивания кристаллов Советский патент 1991 года по МПК C30B15/00 

Изобретение относится к выращиванию кристаллов, применяемых в электронной и химической промышленности, в цветной металлургии, и касается устройства для выращивания монокристаллов методом вытягивания из тигля с расплавом.

Цель изобретения - снижение высоты устройства, повышение жесткости конструкции и удобства обслуживания.

На фиг. 1 представлено устройство, продольный разрез; на фиг.2 - вид А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б на фиг 1; на фиг.4 - разрез В-В на фиг.З.

Устройство содержит герметичную камеру 1 с рубашками охлаждения 2, Камера 1 содержит две горизонтальные плиты 3 и 4, размещенные одна над другой и скрепленные вертикальными рамой 5 и дополнительной рамой б, установленными параллельно. Рамы 5 и 6 снабжены дверями 7 и 8 соответственно. В верхней плите 4 выполнен люк 9 с крышкой 10, на которой установлен механизм 11 вращения и вертикального перемещения затравкодержателя 12. Внутри камеры 1 установлен съемный тигель 13, окруженный нагревателем 14. Тигель 13 размещен нэ штоке 15, который связан с датчиком массы 16, жестко закрепленным на нижней плите 3. Устройство включает пульт управления 17, в который входят блоки управления двигателями механизма вращения и вытягивания монокристаллов, уравновешивания весов, формирования задания веса, формирования закона регулирования, автоматического регулирования температуры, регистратор температуры и регистратор веса автокомпенсационный (не показаны).

Устройство работает следующим образом

После загрузки шихты в тигель 13 его устанавливают через люк 9 на штоке 15, опуская тигель вертикально вниз. Устанавливают крышку 10 с механизмом 11 и герметизируют камеру. Включают электропитание нагревателя 14, плавят шихту в тигле 13, производят затравливание и далее процесс выращивания проводится в автоматическом режиме по заданной программе.

После окончания процесса выращенный кристалл извлекают из камеры через

О

ю

4Ь О

о о

шок 9. Также через люк 9 извлекает тигель 13 с остатками шихты.

Использование предлагаемого устройства Р отличие от известного позволяет на 30 - 50% сократить высоту камеры, и на 10 - 20% ширину, тем самым повысив еэ компактность, жесткость, устойчивость и удобство в обслуживании,

Выполнение операции загрузки тигля облегчается наличием люка в верхней пли- те, через который тигель извлекается из печи и из камеры простым подъемом. При установке тигля внутри печи сверху и с боков обеспечен достаточный обзор и доступ к тиглю. Операция извлечения и установки тигля с шихтой легко механизируется с помощью обычных грузоподъемных устройств.

Формула изобретения

Устройство для выращивания кристаллов, включающее герметичную охлаждав-

мую камеру, снабженную вертикальной рамой с дверью, съемный тигель, размещенный внутри камеры и связанный с датчиком массы, нагреватель, расположенный коак- сиально тиглю, и затравкодержатель установленный над тиглем и снабженный механизмом вращения и вертикального перемещения, отличающееся тем, что, с целью снижения высоты устройства, повышения жесткости конструкции и удобства обслуживания, камера снабжена горизонтальными плитами, установлении ми по ее торцам, и дополнительной вертикальной рамой с дверью для крепления плит, в верхней плите выполнен люк диаметром, большим диаметра тигля, снабженный крышкой, на которой установлен механизм вращения и перемещения за- траикодержателя, а датчик массы жестко креплен на нижней плите.

Изобретение относится к технике получения искусственных кристаллов и обеспечивает снижение высоты устройства, повышение жесткости конструкции и удобства обслуживания. Камера устройства выполнена в форме двух горизонтальных плит, скрепленных вертикальными рамами, имеющими двери. В верхней плите выполнен люк, на крышке которого установлен механизм вращения и перемещения затравко держателя. Высота камеры снижена на 50%. 4 ил.

А

17

16

Фиг.;

Фиг. 2

П

В

Фиг.З

Фиг. 4

в