Устройство для жидкостной обработки изделий Советский патент 1993 года по МПК B08B3/04 B08B3/08 

Изобретение относится к машиностроению, в частности к технологическому обору- дованмю для очистки фотошаблонных Заготовок, и может найти применение в сте кольной и приборостроительной отраслях промышленности для обработки плоских изделий.

Технический результат от данного изобретения заключается в повышении качества обработки.

На фиг. 1 схематично показано устройство для жидкостной обработки изделий (в качестве примера реализации рассмотрено устройство с использованием трех ванн для обрабатывающей жидкости); на фиг. 2 - то же, вид сбоку; на фиг. 3 - фрагмент механизма вертикального перемещения держателя; на фиг. 4 -.фрагмент цепной передачи.

Устройство для жидкостной обработки изделий состоит из корпуса 1, на котором закреплены ванны 2 для обрабатывающей жидкости, две направляющие 3 для рамы 4, на которой закреплены держатели 5 изделий-кассет 6 с изделиями 7. Кроме того, на корпусе 1 закреплены элементы механизма вертикального перемещения держателя 5 - электродвигатель 8 и блок 9 цепной передачи, образованной двумя звездочками 10 (верхней и нижней) и цепью 11, на ветви которой установлен упор 12, предназначем- ный ля взаимодействия с нижней псрекла- диной рамы 4. На валу привода электродвигателя 8 размещены обгонная

00

о со ю о VI

муфта 13, на корпусе которой установлена Нижняя звездочка 10 цепной передачи, и эксцентрик 14, на внешнюю поверхность которого напрессован подшипник 15. Верхняя звездочка 10 цепной передачи разме- щена на оси, закрепленной на блоке 9. Цепь 11 проходит через отверстие, выполненное в теле нижней перекладины рамы 4 и фактически служит тягой рамы 4 при ее подъеме. Обгонная муфта 13 предназначена для обеспечения сцепления вала электродвигателя 8 с нижней звездочкой 10 цепной тяги на время подъема и опускания рамы 4 с держателями 5 (для выгрузки обработанных изделий 7 из кассет 6 и загрузки новых на обработку). Эксцентрик 14 с напрессован- ным на его внешнюю поверхность подшипником 15 предназначены для обеспечения плавного, без рывков вертикального возвратно-поступательного перемещения (по- качивания) рамы 4 с держателями 5 во время обработки изделий 7 в ваннах 2, причем величина эксцентриситета определяет амплитуду покачивания рамы 4. В рассматрива

емом примере реализации амплитуда

покачивания составляет 60 мм. На чертеже не показаны средства загрузки-выгрузки изделий, цепи управления электродвигателем 8, средство подачи обрабатывающей жидкости, ультразвуковые преобразовате-

ли и др. элементы, не имеющие отношения к существу заявленного и технического решения, но очевидные при реализации устройства для применения его в полупроводниковом производстве.

Работа устройства для жидкостной обработки изделий происходит следующим образом. . В исходном состоянии рама 4 с держа телями 5 находится в верхнем положении за счет взаимодействия нижней перекладины рамы 4 с упором 12. В ванны 2 заливается обрабатывающая жидкость, а обрабатываемые изделия 7 загружаются в кассеты 6,

; которые устанавливают на опорах держателей 5. В верхнем положении держателя 5 нижняя звездочка 10 цепной передачи находится в зацеплении с валом электродвигателя 8 посредством обгонной муфты 13. По окончании процесса загрузки включается электродвигатель 8, передающий вращение нижней звездочки 10 цепной передачи, в результате чего упор 12 на ветви цепи 11 опускается вместе с рамой 4 и держателями 5. При таком направлении движения обгонная муфта 13 выводит звездочку 10 из за- цепления с валом электродвигателя 8 и опускание рамы 4 по направляющим 3 происходит под действием собственного веса. При этом нижняя перекладина рам.ы 4 опирается на упор 12. Опускание рамы 4 и со0 5 0

5

0

5

0

5 0 5 .

ответственно, погружение держателей 5 с обрабатывающими изделиями 7 в кассетах

6 в ванны 2 с обрабатывающей жидкостью происходит до тех пор, пока нижняя перекладина рамы 4 неупрется во вращающийся вместе с эксцентриком 14 подшипник 15, препятствующий дальнейшему опусканию рамы 4. При этом держатели 5 с изделиями

7 занимают нижнее положение и полностью погружены в ванны 2 с обрабатывающей жидкостью. Поскольку рама 4 уже опирается не на упор 12, а на подшипник 15, то движение цепи 11 прекращается, а рама 4, взаимодействуя с подшипником 15, получает возвратно-поступательное вертикальное перемещение (покачивание) с амплитудой, равной величине эксцентриситета и с частотой вращения эксцентрика 14. При этом .происходит жидкостная обработка изделий 7 (в нашем случае с применением ультразвука в течение 3-5 мин). По завершении технологической операции осуществляется переключение направления вращения электродвигателя 8 (реверс), в результате чего обгонная муфта 13 снова вводит в зацепление звездочку 10 и вал привода электродвигателя 8, а цепь 11 начинает перемещаться в обратном направлении, при котором ветвь цепи 11 с упором 12 поднимается, а упор 12, взаимодействуя с нижней перекладиной par мы 4, увлекает ее за собой вверх. Рама 4 по направляющим 3 поднимается до вышеописанного верхнего положения, при котором происходит выгрузка обработанных изделий 7. Кассета 6 с изделиями 7 снимается с .опор держателя 5 и загружается новая. Далее процесс обработки происходит вышеописанным образом.

Предлагаемое устройство обеспечивает повышение качества обработки изделий за счет плавного вертикального возвратно-поступательного движения изделий, увеличивающего интенсивность обработки, особенно при использовании ультразвука. При этом устройство позволяет одним приводом производить и подъем, и покачивание изделий, не внося загрязнений в зону обработки, поскольку над ней в отличие от устройства-прототипа отсутствуют трущиеся части, являющиеся источником загрязнений. Для перехода с одного вида движения на другой достаточно лишь переключить направление вращения электродвигателя. В этом состоят техническое и общественнопо- лезное,преимущества предложенного устройства перед прототипом. .Формула изобретения

Устройство для жидкостной обработки изделий, содержащее ванну для обрабатывающей жидкости, держатель изделий и

приводной механизм вертикального перемещения держателя, отличающееся тем, что оно имеет раму, держатель изделий жестко закреплен на раме, механизм вертикального перемещения имеет цепную передачу, кинематически связанную с рамой, а

вал привода снабжен обгонной муфтой, связанной с цепкой передачей, и эксцентриком с напрессованным на его внешнюю поверхность подшипником, установленным с возможностью взаимодействия с нижней частью рамы.

Использование: для очистки фотошаблонных заготовок, может найти применение в стекольной и приборостроительной отраслях промышленности для обработки плоских изделий. Сущность изобретения: устройство содержит ванны для обрабатывающей жидкости, держатель изделий, ме- ханизм .вертикального перемещения держателя. Держатель закреплен на раме, кинематически связанной посредством цепной передачи с приводом электродвигателя, на валу которого размещены обгонная муф1 та, связанная с цепной передачей, и эксцентрик с напрессованным на его внешнюю поверхность подшипником, взаимодействующим с нижней перекладиной рамы в процессе обработки, Это дает возможность повысить качество обработки изделий за счет обеспечения плавного возвратно-поступательного перемещения изделий в вертикальной плоскости (покачивания), что, в свою очередь, дает возможность использовать ультразвук в. процессе обработки и тем самым увеличить ее интенсивность. Кроме того, устройство позволяет использовать один привод как для подъема рамы с держателями (при выгрузке обработанных изделий и загрузке новых), так и для плавного покачивания рамы в процессе обработки. 4 ил. (Л С

ФиаЛ

9 &

Фи г Л