Изобретение касается синтеза смол поволачного тина на основе производных дифенилоксида, которые могут быть использованы для получения иозитивных фоторезистов.
Известен снособ нолучения смол конденсацией 4,4 - ди (хлорметил)-дифенплоксида с бисфенолами.
Целью изобретения является разработка способа синтеза смол с максимально возможным содержанием гидроксильных групп. Эти смолы могут быть иснользованы в качестве оксико.мпонента при получении светочувствительных слоев.
Согласно изобретению поставленная цель достигается проведением реакции между 4,4-ди (хлорметил)-дифенилоксидом и полиоксибензофенопами общей формулы
R.
где RI, Ra, Ra и R4 - И .или ОН.
нерастворимое состояние при нагревании мольное соотношение может быть изменено, например, до 1:1
П р и М е р 1. К раствору 30 г (0,131 моль) 2,4,4-триокОибензофенона (т. пл. 199°С) в 53 лгл диоксана при 80-85°С в течение 1,5шс добавляют раствор 22,8 г (0,086 моль) 4,4-ди (хлорметил)-дифеиилоксида в 18 мл толуола. Реакционную массу нагревают при интенсивном перемешивапии в токе сухого инертного газа при постоянном повышении температуры до 100°С в течение 85 час. Смолообразный продукт отмывают кипяш,ей водой, толуолом и сушат. Выход продукта конденсации 42 г. Т. пл. ПО-120°С. Продукт растворяется в диоксане, ацетоне, диметилформамиде. содержа ние ОН-групп по Верлею 14,27%.
Пример 2. К раствору 67,3 г (0,294 моль) 2,4,4-триоксибензофеиона в 100 мл диоксана при 85-90°С в течение 2 час добавляют раствор 39 г (0,147 моль) 4,4-ди (хлорметил)дифенилоксида в 40 мл толуола. Реакционную массу нагревают при размешивании в токе сухого инертного газа в течение примерно 40 час, постепенно повышая температуры до 100-110°С. Летучие продукты отгоняют в вакууме и смолообразную вязкую массу отмывают горячей водой, толуолом и сушат. Получают 90,7 г смолы. Т. пл. 136-144°С. Смола растворяется в диоксапе, ацетоне, метил форма м и де.
Пример 3. К раствору 20 г 4,2 3, 4-тетраоксибензофенона в 80 мл диоксана при 90°С в течение 1,5 час добавляют раствор 11 г 4,4-ди (хлор.метил)-дифенилоксида в 20 мл толуола. Конденсацию ведут, как указано в примере 4. Получают 20,1 г смолы. Т. пл. 146-151°С. Смола растворяется в диоксаие, ацетоне, ди.метилформамиде.
Предмет изобретения
нилоксида с ароматическими оксисоединениями, отличающийся тем, что, с целью расширения сырьевой базы для получения позитивных фоторезистов, в качестве оксисоединеняй используют полиоксибензофеноны общей формулы
Способ получения гидроксилсодержащих смол конденсацией 4,4-Д1И (хло|рметил)-дифе- 45
где RI, R2, Rs и R - Н или ОН.
