Раствор для травления термокомпенсаторов из молибдена и его сплавов Советский патент 1983 года по МПК C23G1/02 

35 со

00

о:) 4;; Изобретение относится к химическ обработке элементов полупроводников приборов путем травления и может бы использовано для реставрации термокомпенсаторов из молибдена и сплаво на основе молибдена. При производстве силовых полупро водниковых приборов одной из технологических операций соединение кремниевой диффузионной струк туры с термокомпенсатором с помощью ахиоминия или силумина. Затем после металлизации.обработки и защиты фаски определяются вольт-амперные характеристики прибора. Приборы, которые не соответствую требованиям по вольт-амперным харак теристикам, бракуются. При этом воз никает необходимость в повторном использовании остродефицитного и дорогостоящего термокомпенсатора. Забракованные приборы нагревают до температуры расплавления силумина и снимают с термокомпенсатора кремниевую структуру. Поверхность реставрируемого термокомпенсатора в этом случае с одной стороны покры алюмосршицидом молибдена и остатками силумина а с другой стороны окислами молибдена, которые должны быть полностью удалены без нарушени плоскопараллельности сторон и струк туры поверхности. Известен раствор для обработки поверхности молибдена и его сплавов ll следующего состава, вес.%: НС1 5-8 НоО „ Остальное Этот раствор используют для удал ния окислов молибдена. Для реставрации термокомпенсаторо данный раствор не пригоден, так как он удаляет только силумин и не растворяет алюмосилициды молибдена, образовавшиеся в процессе сплавления Наиболее близким к предлагаемому является раствор 2 , содержащий, вес .%: Перекись водорода 48,4 Соляная кислота 51,6 Этот раствор удаляет с реставрируемого термокомпенсатора остатки припоя и частично окислы, однако сло алюмосилицидов молибдена не стравливает. Раствор взаимодействует с поверхностью термокомпенсатора,в результате чего образуются неровности нарушается плоскопараллельность сто Цель изобретения - удаление с поверхности термокомпенсатора алюмо силицидов молибдена при сохранении плоскопараллельности сторон термокрмпенсатора. Поставленная цель достигается тем, что раствор для травления термокомпенсаторов из молибдена и его сплавов, содержащий перекись водорода и соляную кислоту, дополнительно содержит фтористый аммоний при следующем соотношении компонентов, мас.%: Перекись водорода 5-60 - Фтористый аммоний 1-25 Соляная кислота Остальное Раствор хорошо восстанавливает поверхность термокомпенсатора от окислов, равномерно стравливает припой и алюмосилициды молибдена, образовавшиеся в процессе сплавления, не нарушает плоскопараллельности сторон термокомпенсатора, так как не вступает с ним во взаимодействие, стоек к разложению и пригоден для многократного использования. Нижний и верхний пределы по и выбраны с учетом эффективного их взаимодействия с алюмосилицидами молибдена, которые образуются при взаимодействии термокомпенсатора с припоем при сплавлении, а также с возможностью полного растворения соли фтористого аммония в смеси кислот, стойкостью травителя к разложению и многократного его использования. Пример. Для приготовления тр11вителя в полиэтиленовой посуде смешивали 36% НС1 (плотность 1,85 г/см), 30% К,О (плотность 1,112 г/см) и . . Образцы для травления были взяты из бракованных серийных приборов. Предварительно с них были удалены кремниевые структуры. Для этого приборы нагревались до температуры, превышающей температуру распая, и с помощью пинцета кремниевая диффузионная структура удалялась с термокомпенсатора. Удаление кремниевых структур возможно и другими механическими способами. Для определения взаимодействия травителя с термокомпенсатором были . взяты чистые молибденовые диски. Было приготовлено три состава предлагаемого раствора и раствор по прототипу. Растворы пpигoтaв lивaли последовательным смешиванием и растворением в полиэтиленовой посуде компонентов. Составы растворов и результаты их испытаний приведены в табл. 1-2. .

Таблица 1

РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ТЕРМО-. КОМПЕНСАТОРОВ ИЗ МОЛИБДЕНА И ЕГО СПЛАВОВ, содержащий перекись водорода и соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью удаления с поверхности термокомпенсаторов алтамосилицидов молибдена при сохранении плоскопараллельности сторон термокомпенсатора, он дополнительно содержит фторист&й аммоний при следующем соотношении компонентов, вес.%: Перекись водорода 5-60 Фтористый аммоний 1-25 Соляная кислота Остальное

Известный

48,4

51,66,7454

Предлагаемый

Примечание. Алюмосшщкаты не стравливаются.

Известный

48,4 51,6 .5,68355,5414

6,7450 0,0004 30

Кипящ.

Таблица 2

0,1421

20