Производственный модуль для нанесения гальванопокрыытий Советский патент 1989 года по МПК C25D19/00 

идентификации, все рабочие позиции И попадает в кассету, установленную в кольце корпуса 1. После этого стол элеватора 9 опускается еще на один шаг и заготовка устанавливается над окном 21. Экран 24 механизмом 20 опускается до контакта с заготовкой, а магистраль 23 подключается к вакууму. Заготовка присасывается к экрану 24, после чего механизмы 8 расходятся под действием привода в стороны от окна 21. Включаются насосы и через форсунки 27 электролит подается на поверхность заготовок, откуда через фильтр 35 стекает в ванну. Рамка 22 подключена к отрицате:льному полюсу, а анод помещен в напорную

магистраль, вследствие чего происходит электроосаждение. После завершения металлизации экран 24 поднимается, механизмы 8 сводятся, экран 24 опускается до упора заготовки в транспортер, вакуум отключается и механизмы 8 переносят заготовку на следующую рабочую позицию над окном 21. Цикл обработки повторяется. Конструкция модуля позволяет обрабатывать несколько партий заготовок с различными параметрами в автоматическом режиме, что значительно повышает производительность обработки в условиях мелкосерийного производства 5 3.п. ф-лы, 7 ил. ,

Изобретение относится к технике гальванопокрытий в производстве ин(иаЗ тегральных схем. Цель изобретения - повьшение производительности -в -услЬ- виях мелкосерийного производства. Производственный модуль для нанесения гальванопокрытий включает корпус 1, технологические блоки 2, механизмы 3 прижима деталей, ванны, кассеты 5, насосы с трубопроводами, транс- портирующи.е механизмы 8 и элеваторы 9 дискретного действия. В процессе обработки автооператор захватывает кассету 5 с заготовками и устанавливает на стол элеватора 9. Стол опускается на один шаг и механизм транспортирования 8 удаляет из кассеты 5 перфокарту, которая проходит блок i (Л // ел

1

Изобретение относится к технике гальванопокрытий в производстве СВ4 гибридных интегральных схем и тонко- пленочных микросборок.

Цель изобретения - повьшение про- изводительности в условиях мелкосерийного производства.

На фиг.1 показан гибкий модуль

для нанесения гальванопокрытии, вид спереди; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1| на фиг.З - модуль, осевое сечение по продольной оси| на фиг.4 - модуль, поперечное сечение; нафиг.5- рабочая позиция трека модуля; на фиг.6 - сечение Б-Б на фиг.2; на фиг.7 - трек, план.

Гибкий производственный модуль для нанесения гальванопокрытия со- )жит корпус 1, в котором смонтиро- ваны технологические блоки 2, механизмы 3 прижима обрабатываемых изделий, ванны 4 для эле.ктрохтта, кассеты 5, насосы б, трубопроводы 7, транс портирующие механизмы 8, связанные с элеваторами 9 дискретного действия Элеваторы 9 установлены в начале и в конце модуля. В шкафу 10 размещены блоки электроавтоматики 11, источники 12 питания и система 13 программного управления, связанная с блоком 14 идентификации, установленным за элеватором начала модуля. Система 13

0

связана с блоками 15 клапанов, установленными за линией пылезащиты 16, в которой смонтирован автооператор 17 и закреплены модули 18 межоперационного хранения кассет 5.- Каждый технологически блок 2 содержит механизм 3 прилсима обрабатываемых изделий 19, имеющий установленный на приводе 20 вертикального перемещения по- льй перфорированный со стороны окна

21,обрамленного рамкой 22, связанной с вакуумной магистралью 23, экран 24, расположенньш симметрично транспортирующим механизмам 8, подвижным относительно окна 21 с рамкой

22,связанным с приводом 25. Симметрично окну 21 установлен дугообразный коллектор 26, по дуге которого расположены связанные с анодом форсунки 27 с линейным факелом -цилиндрической , оси которых перпендикулярны продольной оси окна 21, а длина паза, формирующего факел, равна ширине окна 21, Тьшьная стенка 28 линии пылезащиты 16 выполнена из двух параллельных щитов, между которыми расположен закрепленный на установленном на верхнем щите механизма 29 продольного перемещения автооператора 17 П-образный крошитейн 30,

на вертикальной стойке которого имеется механизм 31 вертикального пере-, м ащения, несущий штангу 32 с захватом 33. Модули 18 межоперацнонного хранения кассет расположены в начале и в конце гибкого производственного модуля и содержат каждый транспортер 34 дискретного действия, перпен- дикулярный направлению продольного перемещения автооператора 17. Слив окон 21 через фильтр 35 соединен с ванной 4 для электролита. Блок 14 ю идентификации установлен за элеватором 9, причем выход его соединен с входом системы 13 программного уп-J равнения, выход которой соединен с входом источников питания 12 и уст- 15 ройством таймеров блоков II электроавтоматики .

Гибкий производственный модуль для нанесения гальванопокрытий работает следующим образом.20

Кассеты 5 с заготовками 19 и перфокартами, имитирующими заготовку, помещают на модуль 18, транспортер 34 которого смещается, заводя кассету в зону наддува азотом. Автоопера- 25 тор 17 захватывает кассету 5 и устанавливает на стол элеватора 9. Стол опускается на один шаг и транспортирующий -механизм 8 удаляет из кассеты 5 перфокарту, которая проходит блок 30 14 идентификации, все рабочие позиции и попадает в кассету, установленную в конце корпуса 1. При этом блок 14 устанавливает тип заготовки, который определяет площадь металлизации, пос- о ле чего система 13 устанавливает ре- .жим работы источника питания, а устройство таймеров блока электроавтоматики 11 регулирует время вьщержки на рабочей позиции. После этого стол 40 элеватора .9 опускается еще на один шаг и заготовка 19 транспортирующим механизмом 8 устанавливается над окном 21. Экран 24 приводом 20 опускается до контакта с изделием 19 и по- 45 дается вакуум по магистрали 23. Изделие 19 присасывается к экрану 24, после чего механизмы 8 расходятся под воздействием привода 25 в стороы от окна 21. Экран 24 с изделием gQ 19 перемещается вниз до упора в раму 22. Включаются насосы 6 и форсуни 27 начинают подавать электролит а поверхность изделия 19, откуда он ерез фильтр 35 стекает в ванну 4. читывая, что рамка 22 подключена к сточнику отрицательного электричес- ого потенциала, а анод помещен в апорную магистраль на поверхности

ж кр пе ти эл ра ки оп но мо ч по ви он те ро ле кий угл лен кол щен тад

864

заготовки 19, обращенной к форсункам 27, происходит электроосаждение. После завершения металлизации экран 24 .поднимается, механизмы 8 сводятся, экран 24 опускается до упора изделия 19 в- транспортер, вакуум отключается и транспортеры 8 переносят заготовку на следующую рабочую позицию над окном 21. Цикл обработки повторяется. После прохождения всех рабочих позиций заготовка 19 транспортирующим ме- ханизмом 8 вводится в зев кассеты 5, которая элеватором 9 перемещается на 1 шаг. Циклы повторяются до полной выработки всех заготовок в кассете. Автооператор 17 пустую кассету переносит на позицию загрузки, а кассету, заполненную заготовка, в модуль 18. Конструкция гибкого производственного модуля позволяет обрабатывать в автоматическом автономном релшме несколько партий заготовок с различными параметрами. Это дает возможность повысить производительность труда в условиях мелкосерийного производства.

Форм у. л а изобретения

5

51

перемещения автооператора обрабатываемых изделий над механизмом транс- портировки.

18

866

ра, а на вертикальной стойке кронш- теина размещен механизм вертикального перемещения автооператора с захватом.

механизму транспортировки и размещен за элеватором дискретного действия, установленным в начале модуля, причем выход блока идентификации соединен С входом программного управления, выход которого связан с входом источ- НИКОВ питания и таймерами.

18

11 11

фиг.1

гв

28

ФигА

фиг.2

п

27

ЦЗиг.5

фиг. 6

8V/

Фиг.7