Способ изготовления спая спеченного нитрида кремния с металлом Советский патент 1993 года по МПК C04B37/02 

Из приведенных данных видно, что введение в зону спая порошкообразного вольфрама в количестве 75-92 мас.% и соблюдение предлагаемого температурного режима процесса позволяют повысить механическую прочность спаев после термо- циклирования на 80-100%. Данный эффект расширяет область применения спаев и повышает их надежность.

Формулаизобретения Способ изготовления спая спеченного нитрида кремния с металлом путем нанесе

ния металлизационного слоя, содержащего титан и вольфрам, последующего нагрева и выдержки при температуре пайки, отличающийся тем, что, с целью повышения термической стойкости спаев, металлизационный слой наносят из пасты, содержащей 8-25 мас.% титана или гидрида титана и 75-92 мас.% вольфрама, при нагреве производят дополнительную выдержку при 1000°С в течение 25-30 мин, а при температуре пайки - 60-75 с,

Использование: изобретение относится к области изготовления спаев керамики из спеченного нитрида кремния с металлом и может быть использовано для изготовления металлокерамических узлов в двигателестроении и электротехнической промышленности. Сущность изобретения: нитрид кремния металлизируют пастой, содержащей 75-92 мас.% вольфрама и 8-25 мас.% титана или гидрида титана. Пайку осуществляют по режиму: нагрев до 1000°С, выдержка в течение 25-80 мин, дальнейший нагрев до температуры пайки и выдержка при ней в течение 60-75 с. Механическая прочность спаев при сдвиге составляет 103- 116 МПа, а после 10 термоциклов на воздухе в интервале 20-600-20°С 65-74 МПа. нитриду кремния и активному металлу (сплаву). Пример 1. Готовят пасту состава, мас.%: вольфрам 88, TIH2 12. Пасту наносят на поверхность керамики слоем толщиной 20-30 мкм. Затем производят пайку керамики с металлом при помощи медного припоя в вакууме ( мм рт.ст.) по режиму: нагрев до 1000°С в течение 1 часа, выдержка при 1000°С в течение 30 мин, нагрев до температуры плавления медного припоя в течение 10 мин, выдержка при температуре плавления припоя в течение 60 сек, охлаждение в течение 3 часов. Механическая прочность спаев керамики из нитрида кремния с никелем при сдвиге составляет 103±15 МПа, механическая прочность при сдвиге после 10 термоциклов на воздухе в интервале 20-600-20°С составляет 65±13 МПа. Конкретные примеры составов и свойств приведены в таблице. w Ё Ч| ю ю 00 О CJ